合肥洁净室正压是通过使净化系统的送风量大于回风量和排风量的方法来达到。维持洁净室正压所需的风量,要根据围护结构密封性能的好坏来确定。
实测表明当洁净室正压为5Pa时,已能满足洁净室洁净度对正压的要求,但这是最低限度的正压值。在此正压值下,多数洁净室所需的风量为2~4次/h换气次数。为了节能,建议把围护结构做得尽可能严密,正压所需的风量按1~2次/h换气次数选用。实测中多数洁净室处于10Pa左右的正压值,建议采用此正压值时所需的风量按2~3次/h换气次数选用。
达到洁净室正压要求的措施,可按表1选用:
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